MFC350 系列為全新升級(jí)的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)里流量計(jì)/控制器。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精度：0.5 % F.S.

測(cè)量范圍：0.5%~100% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應(yīng)

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范圍  1%F.S-100%F.S.（1:100）

準(zhǔn)確度  0.2% F.S

重復(fù)精度  0.05% F.S

線性度  0.1%F.S

控制響應(yīng)時(shí)間  100ms

預(yù)熱時(shí)間  0s

閥門  常閉

泄漏率  1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)

1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）

分辨率  0.001sccm

機(jī)械特性

耐壓  3 MPa

工作壓差范圍  0 - 0.08 MPa

工作溫度范圍  0 – 65 ℃

濕度范圍  0 ~ 98% 無(wú)凝露

氣路接頭類型  快擰，卡套，VCR, IGS

氣體接觸材質(zhì)  FKM, 316L

密封材質(zhì)  FKM （全金屬密封可選）

防護(hù)等級(jí)  IP40

安裝方式  自由安裝

固定孔  M4 ? 5mm

重量  1 kg（MFM）1.4kg(MFC)

蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司成立于2012年，是一家流體質(zhì)量流量計(jì)和控制器專業(yè)研發(fā)制造商，專注于微小氣體流量精準(zhǔn)測(cè)控。公司核心部件及生產(chǎn)設(shè)備100%自主研制，全制程自主可控，已成為國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域技術(shù)、產(chǎn)品線完整的品牌之一。