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氦氣氣體流量計是專門用來測量氦氣流量的儀器，通過測量氣體帶走的熱量來算流量，不用補償溫度和壓力，能直接測質(zhì)量流量，適合低流速場合，但探頭怕油污和灰塵

MFC600系列層流差壓式氣體質(zhì)量流量計/控制器，通訊方式：模擬量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

MFC350系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，通訊方式：模擬量、RS485, RS232, CAN, Profibus, EtherCat。

MFC320系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

LT-510工件檢漏儀，檢測下限低、測量精度高，體積小、操作便捷，大尺寸觸屏顯示及操作 。