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氣體質量流量計
MFC350系列氣體質量流量計/控制器

產(chǎn)品簡介
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MFC350系列氣體質量流量計/控制器特點:. 精度:量程±0.35% F.S. (<35% FS.),±1.0% S.P. (≥35% F.S.)或0.5%F.S.取優(yōu)
測量范圍:0.5%~100% F.S.
控制范圍:1%~100% F.S.
工作壓差范圍:0-1 MPa
≤1s快速響應
90+種氣體適用
通訊方式:模擬量、RS485, RS232, CAN, Profibus, EtherCat
集成顯示器可選
流量范圍: 最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm
工作原理:



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