氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MFC320系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

產(chǎn)品型號(hào)：MFC320系列

更新時(shí)間：2026-06-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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MFC320系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

精度：0.5 % F.S.

控制范圍：1~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

5ms測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

抗腐蝕型可選

通訊方式：模擬量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

流量范圍:

最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm

氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

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