在半導(dǎo)體、光伏、生物制藥，生命科學(xué)，研究院所等制造領(lǐng)域，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是精確控制工藝氣體的核心部件。長期以來，該市場被國外品牌壟斷，是我國產(chǎn)業(yè)鏈的“卡脖子"環(huán)節(jié)。蘇州愛拓利專注于MFC的自主研發(fā)，致力于實(shí)現(xiàn)流體測控技術(shù)的國產(chǎn)化替代。

二、核心技術(shù)亮點(diǎn)

自主可控：核心部件（毛細(xì)管柱式傳感器、高精度微型比例閥）實(shí)現(xiàn)100%自研自制，全制程自主生產(chǎn)，不受外部供應(yīng)鏈限制。

性能對(duì)標(biāo)國際一線：

高精度：控制精度達(dá)±0.5%F.S.，重復(fù)精度±0.2%F.S.。

寬量程：覆蓋2sccm至500slpm，滿足實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)量產(chǎn)全場景。

快響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間<1秒，抗干擾能力強(qiáng)。

超低泄漏：泄漏率低至1×10?11 Pa·m3/sec He，適用于高純工藝。

智能與穩(wěn)定：采用先進(jìn)的溫壓補(bǔ)償技術(shù)及智能控制算法，實(shí)現(xiàn)極低的零漂和長期運(yùn)行穩(wěn)定性。