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流量計(jì)
氣體質(zhì)量流量計(jì)
MFC3500-10sccm氣體流量計(jì)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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氣體種類: 90+種氣體可選
測量范圍: 0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200)
控制范圍;: 1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100)
準(zhǔn)確度: 0.5% F.S.
工作壓差: 0-1 MPa
耐壓: 3 MPa
控制響應(yīng)時(shí)間 <1 s
閥門類型: 常閉閥
預(yù)熱時(shí)間: 5 min(T95)
量程范圍: 0-2 sccm…200slpm
顯示屏: 內(nèi)置/外接顯示屏可選
標(biāo)況: 20℃(可設(shè)置), 1atm
通訊方式: 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat
蘇州愛拓利坐落于長三角經(jīng)濟(jì)圈核心腹地、蘇州吳江半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚核心區(qū)位,地處吳江區(qū)柳胥路 99 號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港,緊鄰蘇州南站、毗鄰上海虹橋綜合交通樞紐,區(qū)位、交通四通八達(dá)。
園區(qū)總建筑面積111764.05 平方米。企業(yè)深耕氣體質(zhì)量流量測控領(lǐng)域,致力打造科技創(chuàng)新策源地、新舊動能轉(zhuǎn)換主力軍、新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展企業(yè),歷經(jīng)多年深耕積淀,產(chǎn)業(yè)規(guī)模與綜合實(shí)力已蔚然成型。
同時(shí)作為國內(nèi)MFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)核心自研智造企業(yè),立足長三角科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)高地,深耕精密流量測控技術(shù)攻關(guān),是行業(yè)突破卡脖子技術(shù)、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體精密儀器國產(chǎn)替代的核心骨干力量。
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