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國產自主研發(fā)熱式氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國產氣體流量計自主研發(fā)MFC MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

高精度氣體質量流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

國產替代熱式氣體質量流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國產替代自主研發(fā)微小氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)氣體質量流量計流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償?shù)玫綔蚀_的真實氣體流量值。