氣體數(shù)顯流量控制器

產(chǎn)品簡介

MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產(chǎn)品型號：MFC300

更新時間：2026-02-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1045

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

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MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體數(shù)顯流量控制器

產(chǎn)品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應

高重復性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

測量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. （1:500）

準確度 ±0.5%F.S.

重復精度 ±0.5%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應時間 5ms

控制響應時間 300ms

預熱時間 ≤1s

閥門常閉式

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MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

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