微小氣體質量流量計

產(chǎn)品簡介

微小氣體質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

產(chǎn)品型號：MFM330

更新時間：2026-02-06

廠商性質：生產(chǎn)廠家

訪問量：804

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標準裝置流量顯示儀氣體質量流量計氣體質量流量控制器流量控制器

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微小氣體質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

微小氣體質量流量計

產(chǎn)品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

主要參數(shù)

介質要求潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程 10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍 0.5%-1 00% F.S.

準確度 ±0.5% F.S.

重復精度 ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應時間 <1s

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

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微小氣體質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

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