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流量計
氣體質(zhì)量流量計
MFC300系列氣體質(zhì)量流量計/控制器

產(chǎn)品簡介
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MFC300系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用MEMS流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
MFC300系列氣體質(zhì)量流量計/控制器特點:
精度:0.5 % F.S.
控制范圍:0.2%~100% F.S.
工作壓差范圍:0-1 MPa
5ms測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
量程:5 sccm-5 slm
無需預(yù)熱,體積小巧
流量范圍:
最小值 0-5 sccm ; 最大值: 0-5 slpm



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