MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出氣壓波動(dòng)， MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品型號(hào)：MFC330系列

更新時(shí)間：2026-06-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出氣壓波動(dòng)， MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

精度：1 % F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

量程：2 sccm-200 slm

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

流量范圍:

最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm

氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器