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氣體流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

數顯氣體質量流量計 MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

微小氣體質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

MFC300 氣體數顯流量控制器系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300 氣體質量流量計廠家系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC330系列是熱式氣體質量流量控制器。由質量流量傳感器、分流結構、高精度比例閥和運放電路等部件組成。